Систем за пречишћавање/генератор гаса ултра високе чистоће

Области примене: електронски полупроводници, интегрисана кола великих размера, MAMS, монокристални силицијум, поликристални силицијум и силицијумска епитаксија, LED, TFT, галијум нитрид, силицијум карбид, научна истраживања и развој, експерименталне анализе итд.

Email

Карактеристике

● Две куле наизменично регенеришу адсорпцију, аутоматски континуирани рад.
● Фитинги за цеви од полираног нерђајућег челика класе 316L ЕП.
● Брзина уклањања до 99,9999999% са филтером од 0,003 μm.
● Siemens PLC се може повезати са DCS системом.
● Функција безбедносног аларма је савршена.
● Доступна је услуга удаљеног рада у облаку.
● Производња и монтажа у супер чистом окружењу.
● Капацитет гаса 10-20000nm3/h.

Параметри табеле

Серијски модели

За гас

Индекс сировог гаса

Индекс производног гаса

Н2

Х2

ТО2

Са

Он

ТО2

Х2ТО

КО2

КО

ЦХ4

Х2

Н2

Грануларност

9VV

●

≤0,1 ппб

—

≤0,1 ппб

—

0,003 мм

9ОВВ

●

—

●

≤0,1 ппб

—

0,003 мм

9VVX

—

●

≤0,1 ппб

0,003 мм

—

●

—

≤0,1 ппб

—

≤0,1 ппб

0,003 мм

9 пута

—

●

≤0,1 ппб

0,003 мм

—

●

—

≤0,1 ппб

—

≤0,1 ппб

0,003 мм

Напомена: Уобичајене спецификације протока：1-20000 Нм3/х;Уобичајено коришћени притисак:1-20 МПа

Ознака производа:

Добијате најновију цену? Одговорићемо што је пре могуће (у року од 12 сати)