Пречистач гаса за уклањање влаге и користи се за производњу полупроводника
Погодно за електронске полупроводнике, интегрисана кола великих размера, MAMS, монокристални силицијум, поликристални силицијум и силицијумску епитаксију, LED, TFT, галијум нитрид, силицијум карбид, научна истраживања и развој, експерименталне анализе итд.
Карактеристике
● Погодно за азот, водоник, кисеоник, аргон, хелијум и амонијак. Сирови гас није мањи од 99,999%. ● Дубинско уклањање нечистоћа O2, H2O, CO, CO2, H2, N2, CH2 и NMHC до 1ppB / 10ppB. ● Наизменична регенерација адсорпције са двоструким торњем, катализа са једним торњем, терминална гетер адсорпција, аутоматски континуирани рад. ● Фитинги за цеви од полираног нерђајућег челика класе 316L ЕП. ● Са филтером од 0,003 мкм, стопа уклањања може достићи 99,999999% /99,99999%. ● Siemens PLC се може повезати са DCS системом. ● Функција безбедносног аларма је савршена. ● Доступна је услуга удаљеног рада у облаку. ● Производња и монтажа у супер чистом окружењу. ● Капацитет гаса 10-20000nm3/h. |  |
