
Систем за пречишћавање високочистог азота за полупроводничке примене
Уређај за пречишћавање азота путем додавања угљеника и деоксидације додатно обрађује 99,9% азота екстрахованог из механизма за стварање азота, узрокујући да 0,1% кисеоника у азоту хемијски реагује са деоксидатором угљеника да би се створио угљен-диоксид, а затим додатно уклања угљен-диоксид и водену пару из азота, пречишћавајући азот на преко 99,999%, побољшавајући квалитет произведеног гаса, како би се прилагодио индустријама са посебним захтевима за чистоћу и квалитет гаса.
Систем за пречишћавање високочистог азота за полупроводничке примене
Обим примене
Погодно за кориснике азота високе чистоће, посебно за магнетне материјале, електронску индустрију и друге процесе који имају строге захтеве за кисеоник и водоник.
Технички параметри
Модел | (Нм³/х) | ДН (мм) Улаз/Излаз Пречник | (кг) Тежина угљеника дезоксидатор | Хлађење вода (т/х) | Примењена снага(kW) | Простор за опрему величина(мм) | (HBTDC) Тежина 13 X молекулске тежине сито(кг) | |||
ЛГБТ | ХБТДЦ | ЛГБТ | ХБТДЦ | ЛГБТ | ХБТДЦ | |||||
ЛГБТ-130 | ХБТДЦ-130 | ≤30 | ДН25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
ЛГБТ-200 | ХБТДЦ-200 | ≤60 | ДН40 | 200 | 0,5 | 18 | 22,5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
ЛГБТ-240 | ХБТДЦ-240 | ≤100 | ДН40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
ХБТ-380 | ХБТДЦ-380 | ≤150 | ДН50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
ХБТ-430 | ХБТДЦ-430 | ≤200 | ДН50 | 430 | 1,5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
ХБТ-670 | ХБТДЦ-670 | ≤250 | ДН50 | 670 | 1,9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
ХБТ-720 | ХБТДЦ-720 | ≤300 | ДН65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
ХБТ-1200 | ХБТДЦ-1200 | ≤400 | ДН65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
ЛГБТ-1440 | ХБТДЦ-1440 | ≤600 | ДН65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
ХБТ-2400 | ХБТДЦ-2400 | ≤1000 | ДН65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
Напомена: Горе наведени подаци се заснивају на притиску доводног ваздуха од 0,8 Mpa(G), температури околине од 20 ℃, надморској висини од 0 m и релативној влажности ваздуха од 80% као основи пројектовања. Напомена 2: Снага се израчунава на основу протока. Снага у табели је одређена према протоку при чистоћи од 39%. |